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GB/T 38616-2020 纳米定位与扫描平台术语

GB/T 38616-2020 纳米定位与扫描平台术语

Terminology for nano positioning and scaning stage

GB/T 38616-2020

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标准GB/T 38616-2020标准状态

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  • 标准名称：纳米定位与扫描平台术语
  • 标准号：GB/T 38616-2020
    中国标准分类号：N10
  • 发布日期：2020-04-28
    国际标准分类号：01.040.39
  • 实施日期：2020-11-01
    技术归口：全国电子测量仪器标准化技术委员会
  • 代替标准：
    主管部门：工业和信息化部（电子）
  • 标准分类：综合、术语学、标准化、文献词汇精密机械、珠宝（词汇）

内容简介

国家标准《纳米定位与扫描平台术语》由TC153（全国电子测量仪器标准化技术委员会）归口，主管部门为工业和信息化部（电子）。
本标准界定了纳米定位与扫描平台（以下简称平台）的术语定义。本标准适用于纳米定位与扫描平台产品参数的定义。

起草单位

沈阳建筑大学、广东工业大学、苏州昊通仪器科技有限公司、三英精控（天津）仪器设备有限公司、中国计量科学研究院、沈阳理工大学、

起草人

须颖、 戴敬、 施玉书、 贾静、 王贺、 安冬、邵萌、戴超、文杰、

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