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GB/T 26069-2022 硅单晶退火片

GB/T 26069-2022 硅单晶退火片

Annealed monocrystalline silicon wafers

GB/T 26069-2022

国家标准推荐性即将实施
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标准GB/T 26069-2022标准状态

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标准详情

  • 标准号:GB/T 26069-2022
    中国标准分类号:H82
  • 发布日期:2022-03-09
    国际标准分类号:29.045
  • 实施日期:2022-10-01
    技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 代替标准:GB/T 26069-2010
    执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
  • 标准状态:即将实施
    主管部门:国家标准化管理委员会
  • 标准分类:电气工程半导体材料

内容简介

国家标准《硅单晶退火片》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

起草单位

有研半导体硅材料股份公司、浙江众晶电子有限公司、开化县检验检测研究院、浙江金瑞泓科技股份有限公司、中环领先半导体材料有限公司、 山东有研半导体材料有限公司、 洛阳鸿泰半导体有限公司、 浙江中晶科技股份有限公司、 浙江海纳半导体有限公司、

起草人

孙燕、宁永铎、黄笑容、王振国、由佰玲、楼春兰、陈锋、张海英、潘金平、

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