当前位置:标准网国家标准

GB/T 14142-2017 硅外延层晶体完整性检验方法 腐蚀法

GB/T 14142-2017 硅外延层晶体完整性检验方法 腐蚀法

Test method for crystallographic perfection of epitaxial layers in silicon—Etching technique

GB/T 14142-2017

国家标准推荐性现行
收藏 报错

标准GB/T 14142-2017标准状态

  1. 发布于:
  2. 实施于:
  3. 废止

标准详情

  • 标准号:GB/T 14142-2017
    中国标准分类号:H25
  • 发布日期:2017-09-29
    国际标准分类号:77.040
  • 实施日期:2018-04-01
    技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 代替标准:GB/T 14142-1993
    执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
  • 标准状态:现行
    主管部门:国家标准化管理委员会
  • 标准分类:冶金金属材料试验

内容简介

国家标准《硅外延层晶体完整性检验方法 腐蚀法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位南京国盛电子有研公司、有研半导体材料有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司。主要起草人马林宝 、骆红 、杨帆 、刘小青 、陈赫 、张海英 。

起草单位

南京国盛电子有研公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司、 有研半导体材料有限公司、

起草人

马林宝、骆红、陈赫、张海英、杨帆、刘小青、

相近标准

硅外延层晶体完整性检验方法 腐蚀法
20151790-T-469 硅外延层晶体完整性检验方法 腐蚀法
GB/T 1554-1995 硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法
GB/T 1554-2009 硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法
20063376-T-469 硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法
GB/T 14041.1-1993 液压滤芯结构完整性检验方法
GB/T 14142-1993 硅外延层晶体完整性检查方法 腐蚀法
TB/T 2871-1998 内燃机车滤芯结构完整性检验方法
GB/T 36137-2018 中空纤维超滤膜和微滤膜组件完整性检验方法
20141949-T-469 中空纤维超滤膜和微滤膜组件完整性检验方法

* 特别声明:资源收集自网络或用户上传,版权归原作者所有,如侵犯您的权益,请联系我们处理。

  • 标准质量:
  • 下载说明

  • ① 欢迎分享本站未收录或质量优于本站的标准,期待。
    ② 标准出现数据错误、过期或其它问题请点击下方「在线纠错」通知我们,感谢!
    ③ 本站资源均来源于互联网,仅供网友学习交流,若侵犯了您的权益,请联系我们予以删除。