当前位置：标准网 国家标准

GB/T 40577-2021 集成电路制造设备术语

GB/T 40577-2021 集成电路制造设备术语

Terminology for integrated circuit（IC）manufacturing equipment

GB/T 40577-2021

国家标准推荐性
收藏 报错

标准GB/T 40577-2021标准状态

  1. 发布于：
  2. 实施于：
  3. 废止

标准详情

  • 标准名称：集成电路制造设备术语
  • 标准号：GB/T 40577-2021
    中国标准分类号：L95
  • 发布日期：2021-10-11
    国际标准分类号：31.220
  • 实施日期：2022-05-01
    技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 代替标准：
    主管部门：国家标准化管理委员会
  • 标准分类：电子学电子电信设备用机电元件

内容简介

国家标准《集成电路制造设备术语》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本文件规定了集成电路（IC）制造设备的基本和常用术语，包括基础术语，晶体生长加工设备、掩模制造设备、光刻与刻蚀设备、掺杂设备、薄膜淀积设备、清洗设备、封装设备、检测设备的术语及公用部件术语。本文件适用于集成电路制造设备的设计开发、生产和应用，也适用于集成电路制造设备的科研、教学和出版工作。

起草单位

中国电子技术标准化研究院、中电科电子装备集团有限公司、中微半导体设备（上海）股份有限公司、东莞市中镓半导体科技有限公司、浙江晶盛机电股份有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、上海微电子装备（集团）股份有限公司、江苏卓远半导体有限公司、

起草人

张军华、 冯亚彬、 裴会川、 朱亮、 杜若昕、 唐彩红、 魏唯、 田涛、 王宏智、 曹可慰、曹建伟、周哲、武小娟、丁晓民、傅林坚、刘英斌、李国平、

相近标准

20233861-T-339 半导体集成电路封装术语
GB/T 12842-1991 膜集成电路和混合膜集成电路术语
GB/T 9178-1988 集成电路术语
SJ/T 10152-1991 集成电路主要工艺设备术语
GB/T 14113-1993 半导体集成电路封装术语
SJ/T 11763-2020 半导体制造设备人机界面规范
JB/T 14190-2022 增材制造设备 桌面型熔融挤出成形机
GB/T 2900.66-2004 电工术语 半导体器件和集成电路
GB/T 41643-2022 高功率激光制造设备安全和使用指南
GB/T 43536.1-2023 三维集成电路 第1部分：术语和定义

* 特别声明：资源收集自网络或用户上传，版权归原作者所有，如侵犯您的权益，请联系我们处理。

标准网本地下载
  • 标准质量：

    • 下载说明

  • ① 欢迎分享本站未收录或质量优于本站的标准，期待。
    ② 标准出现数据错误、过期或其它问题请点击下方「在线纠错」通知我们，感谢！
    ③ 本站资源均来源于互联网，仅供网友学习交流，若侵犯了您的权益，请联系我们予以删除。
  • 在线纠错
    • 标准过期 下载问题 模糊有误 其它问题

    「相关推荐」