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JB/T 13872-2020 平面相移干涉仪

JB/T 13872-2020 平面相移干涉仪

JB/T 13872-2020

行业标准-JB 机械推荐性
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  • 标准名称：平面相移干涉仪
  • 标准号：JB/T 13872-2020
    中国标准分类号：N33
  • 发布日期：2020-04-16
    国际标准分类号：17.180
  • 实施日期：2021-01-01
    技术归口：全国光学和光子学标准化技术委员会(SAC/TC103)
  • 代替标准：
    主管部门：工业和信息化部
  • 标准分类：计量学和测量、物理现象JB 机械制造业

内容简介

行业标准《平面相移干涉仪》，主管部门为工业和信息化部。本标准规定了平面相移干涉仪的术语和定义、型式、基本参数、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本标准适用于利用微位移机构检验光学平面的面形偏差和平面平晶平面度的平面相移干涉仪(以下简称仪器)。

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起草人

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