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T/CSTM 00313-2021 基于光谱反演的光学薄膜常数测试方法

T/CSTM 00313-2021 基于光谱反演的光学薄膜常数测试方法

T/CSTM 00313-2021

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标准T/CSTM 00313-2021标准状态

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本文件规定了采用光谱法测定单层光学薄膜的光谱特性，并以此反演出膜层光学常数的测试方法本文件适用于50nm～5000nm的介质光学薄膜和基片，薄膜为氧化物、氟化物、硫化物等化合物，基片为各种可见光透明光学玻璃、可见光透明各向同性晶体本文件规定了采用光谱法测定单层光学薄膜的光谱特性，并以此反演出膜层光学常数的测试方法
本文件适用于50nm～5000nm的介质光学薄膜和基片，薄膜为氧化物、氟化物、硫化物等化合物，基片为各种可见光透明光学玻璃、可见光透明各向同性晶体

起草单位

西南技术物理研究所，中国科学院上海光学精密机械研究所。

起草人

马孜、姚德武、封巍、罗舒、郑环其、李斌成、易葵、张伟丽、赵元安

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