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DB13/T 6141-2025 高纯度钨部件性能评价方法

DB13/T 6141-2025 高纯度钨部件性能评价方法

DB13/T 6141-2025

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  • 标准名称：高纯度钨部件性能评价方法
  • 标准号：DB13/T 6141-2025
    中国标准分类号：L90
  • 发布日期：2025-05-27
    国际标准分类号：31.03
  • 实施日期：2025-06-03
    技术归口：邯郸市市场监督管理局
  • 代替标准：
    主管部门：河北省市场监督管理局
  • 标准分类：电子学制造业河北省

内容简介

地方标准《高纯度钨部件性能评价方法》，主管部门为河北省市场监督管理局。本文件规定了半导体制造用高纯度钨部件化学成分、物理性能的评价方法，包括检测原理、试剂或材料、仪器设备、样品、测定步骤及结果处理等。本文件适用于半导体制造用高纯度钨部件的金属杂质元素和物理性能的评价。

起草单位

中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、中国船舶集团有限公司第七一八研究所

起草人

王亚峰、彭立培、刘跃旭、薄林、裴佳莹、李丹丹、林坤、郑艺

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