GB/T 16945-2009 电子工业用气体 氩
GB/T 16945-2009
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标准GB/T 16945-2009标准状态
- 发布于:2009-10-30
- 实施于:2010-05-01
- 废止
内容简介
国家标准《电子工业用气体 氩》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC1(全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
u3000u3000本标准规定了氩的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 u3000u3000本标准适用于以深冷法从空气、合成氨尾气中提取的液态和气态氩以及经纯化方法得到的氩。 u3000u3000氩用于系统的吹扫、保护和增压,它还可以用于化学汽相淀积、溅射、等离子及活性离子刻蚀剂和退火等不同工艺中。
起草单位
北京氦普北分气体工业有限公司、西南化工研究设计院、
起草人
赵俊秀、 周鹏云、
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