GB/T 26250-2010 电子工业用气体 砷化氢
GB/T 26250-2010
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标准GB/T 26250-2010标准状态
- 发布于:2011-01-14
- 实施于:2011-05-01
- 废止
内容简介
国家标准《电子工业用气体 砷化氢》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC1(全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了砷化氢的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于砷化合物与酸反应获得的砷化氢。在半导体器件制备过程中,砷化氢用于掺杂以及化合物半导体外延。分子式:AsH3。相对分子质量:77.945 42(按2007年国际相对原子质量计算)。
起草单位
西南化工研究设计院、光明化工研究设计院、上海华爱色谱分析技术有限公司、
起草人
孙福楠、 方华、 周鹏云、庄鸿涛、
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