GB/T 26249-2010 电子工业用气体 硒化氢
GB/T 26249-2010
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标准GB/T 26249-2010标准状态
- 发布于:2011-01-14
- 实施于:2011-05-01
- 废止
内容简介
国家标准《电子工业用气体 硒化氢》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了硒化氢的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 本标准适用于硒铝、硒镁合金化合物水解、单质硒与氢高温反应等方法获得并经精制得到的硒化氢产品。它主要用于太阳能电池、半导体和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂。 分子式:H2Se。 相对分子质量:8o.975 88(按2007年国际相对原子质量计算)。
起草单位
中国计量科学研究院、上海华爱色谱分析技术有限公司、西南化工研究设计院、河北保定市北方特种气体有限公司、
起草人
周泽义、 方华、 庄鸿涛、李建浩、
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