GB/T 16943-2009 电子工业用气体 氦
GB/T 16943-2009
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标准GB/T 16943-2009标准状态
- 发布于:2009-10-30
- 实施于:2010-05-01
- 废止
内容简介
国家标准《电子工业用气体 氦》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC1(全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
u3000u3000本标准规定了氦的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 u3000u3000本标准适用于以深冷法从天然气、空气和工厂弛放气中提取的气态和液态氦,以及经纯化方法得到的氦。它们在半导体制照中用作清洗气、加压气,也用作载气和保护气等。
起草单位
西南油气田分公司成都天然气化工总厂、西南化工研究设计院、北京氦普北分气体工业有限公司、
起草人
刘泽军、 付永成、 赵俊秀、周鹏云、
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