GB/T 14604-2009 电子工业用气体 氧
GB/T 14604-2009
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标准GB/T 14604-2009标准状态
- 发布于:2009-10-30
- 实施于:2010-05-01
- 废止
内容简介
国家标准《电子工业用气体 氧》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC1(全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
u3000u3000本标准规定了电子工业用氧的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 u3000u3000本标准适用于以深冷法、电解法提取的气态或液态氧,以及经纯化方法得到的氧。它们主要用于二氧化硅化学气相淀积,用作氧化源和生产高纯水的反应剂,用于等离子体蚀刻和剥离、光导纤维。
起草单位
中国计量科学研究院、西南化工研究设计院、
起草人
周泽义、 周鹏云、
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