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GB/T 14603-2009 电子工业用气体 三氟化硼

GB/T 14603-2009 电子工业用气体 三氟化硼

Gases for electronic industry - Boron trifluoride

GB/T 14603-2009

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标准GB/T 14603-2009标准状态

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  • 标准名称:电子工业用气体 三氟化硼
  • 标准号:GB/T 14603-2009
    中国标准分类号:G86
  • 发布日期:2009-10-30
    国际标准分类号:71.100.20
  • 实施日期:2010-05-01
    技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 代替标准:代替GB/T 14603-1993
    主管部门:国家标准化管理委员会
  • 标准分类:化工技术化工产品工业气体

内容简介

国家标准《电子工业用气体 三氟化硼》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC1(全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
u3000u3000本标准规定了电子工业用三氟化硼的技术要求、试验方法检验规则、包装、标志、贮运及安全要求。 u3000u3000本标准适用于以氟气和硼单质为原料,采用直接化合的方法制得并经过纯化制取的三氟化硼;和以氟硼酸钠为原料热分解法制得并经过纯化制取的三氟化硼。主要用于半导体器件和集成电路生产的离子注入和掺杂。

起草单位

核工业理化工程研究院、西南化工研究设计院、大连光明化工研究院、

起草人

邓建平、 倪志强、 孙福楠、周鹏云、

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