GB/T 28276-2012 硅基MEMS制造技术 体硅溶片工艺规范
GB/T 28276-2012
国家标准推荐性标准GB/T 28276-2012标准状态
- 发布于:2012-05-11
- 实施于:2012-12-01
- 废止
内容简介
国家标准《硅基MEMS制造技术 体硅溶片工艺规范》由TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了采用体硅溶片加工工艺进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和工艺评价规范。本标准适用于体硅溶片工艺的加工和质量检验。
起草单位
中国电子科技集团第十三研究所、北京大学、中机生产力促进中心、中国科学院上海微系统与信息技术研究所、
起草人
崔波、 罗蓉、 熊斌、 陈海蓉、 刘伟、张大成、
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