GB/T 28275-2012 硅基MEMS制造技术 氢氧化钾腐蚀工艺规范
GB/T 28275-2012
国家标准推荐性标准GB/T 28275-2012标准状态
- 发布于:2012-05-11
- 实施于:2012-12-01
- 废止
内容简介
国家标准《硅基MEMS制造技术 氢氧化钾腐蚀工艺规范》由TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了采用氢氧化钾腐蚀工艺进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求。本标准适用于氮氧化钾腐蚀工艺和管理。
起草单位
中国科学院上海微系统与信息技术研究所、东南大学、中机生产力促进中心、重庆大学、中国电子科技集团第四十九研究所、
起草人
夏伟锋、 熊斌、 周再发、 李玉玲、 冯飞、戈肖鸿、
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