GB/T 32817-2016 半导体器件 微机电器件 MEMS总规范
GB/T 32817-2016
国家标准推荐性标准GB/T 32817-2016标准状态
- 发布于:2016-08-29
- 实施于:2017-03-01
- 废止
内容简介
国家标准《半导体器件 微机电器件 MEMS总规范》由TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准描述了用半导体制造的微机电系统(MEMS)的总规范,规定了用于IECQ-CECC体系质量评定的一般规程,给出了电、光、机械和环境特性的描述和测试的总则。 本标准适用于各类MEMS器件[如传感器、射频MEMS,但不包括光MEMS、生物MEMS、微全分析系统(Micro-TAS)和微能源MEMS]。 u3000u3000
起草单位
中机生产力促进中心、中北大学、大连理工大学、中国电子科技集团公司第十三研究所、南京理工大学、
起草人
李海斌、 崔波、 裘安萍、 施芹、 刘伟、石云波、杨拥军、刘冲、
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