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GB/T 26111-2010 微机电系统(MEMS)技术 术语

GB/T 26111-2010 微机电系统(MEMS)技术 术语

Micro-electromechanical system technology - Terms

GB/T 26111-2010

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标准GB/T 26111-2010标准状态

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  • 标准名称:微机电系统(MEMS)技术 术语
  • 标准号:GB/T 26111-2010
    中国标准分类号:L55
  • 发布日期:2011-01-10
    国际标准分类号:31.200
  • 实施日期:2011-10-01
    技术归口:全国微机电技术标准化技术委员会
  • 代替标准:被GB/T 26111-2023代替
    主管部门:国家标准化管理委员会
  • 标准分类:电子学集成电路、微电子学

内容简介

国家标准《微机电系统(MEMS)技术 术语》由TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定厂微机电系统领域所涉及的材料、设计、加工、封装、测量以及器件等方面的通用术语和定义。本标准适用于微机电系统领域的研究、开发,评测和应用。

起草单位

中机生产力促进中心、清华大学、中北大学等、中国电子科技集团第13研究所、上海交通大学、

起草人

丁红宇、 刘伟、 张苹、崔波、

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