GB/T 26111-2010 微机电系统(MEMS)技术 术语
GB/T 26111-2010
国家标准推荐性标准GB/T 26111-2010标准状态
- 发布于:2011-01-10
- 实施于:2011-10-01
- 废止
内容简介
国家标准《微机电系统(MEMS)技术 术语》由TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定厂微机电系统领域所涉及的材料、设计、加工、封装、测量以及器件等方面的通用术语和定义。本标准适用于微机电系统领域的研究、开发,评测和应用。
起草单位
中机生产力促进中心、清华大学、中北大学等、中国电子科技集团第13研究所、上海交通大学、
起草人
丁红宇、 刘伟、 张苹、崔波、
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