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GB/T 34177-2017 光刻用石英玻璃晶圆

GB/T 34177-2017 光刻用石英玻璃晶圆

Quartz glass wafer for lithography

GB/T 34177-2017

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标准GB/T 34177-2017标准状态

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  • 标准名称：光刻用石英玻璃晶圆
  • 标准号：GB/T 34177-2017
    中国标准分类号：Q35
  • 发布日期：2017-09-07
    国际标准分类号：81.040.30
  • 实施日期：2018-08-01
    技术归口：全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会
  • 代替标准：
    主管部门：中国建筑材料联合会
  • 标准分类：玻璃和陶瓷工业玻璃玻璃产品

内容简介

国家标准《光刻用石英玻璃晶圆》由TC447（全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会）归口，主管部门为中国建筑材料联合会。
本标准规定了光刻用石英玻璃晶圆(以下简称石英玻璃晶圆)的术语和定义、分类、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于半导体集成电路、光通讯、微机电系统(MEMS)、光电器件和发光二极管(LED)等光刻工艺中用做衬底的石英玻璃晶圆。

起草单位

中国建材检验认证集团股份有限公司、长沙韶光铬版有限公司、国家安全玻璃及石英玻璃质量监督检验中心、中建材衢州金格兰石英有限公司、中国建筑材料科学研究总院、

起草人

吴洁、 王京侠、 花宁、 刘焕敏、 张浩运、 杨晓会、 张应语、 王友军、李弋舟、肖颂华、聂兰舰、杨学东、孔敏、

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