GB/T 24581-2022 硅单晶中III、V族杂质含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法
GB/T 24581-2022
国家标准推荐性标准GB/T 24581-2022标准状态
- 发布于:2022-03-09
- 实施于:2022-10-01
- 废止
内容简介
国家标准《硅单晶中III、V族杂质含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
本文件描述了用低温傅立叶变换红外光谱法测定硅单晶中Ⅲ、V族杂质含量的方法。本文件适用于硅单晶中的Ⅲ、V族杂质铝(A1)、锑(Sb)、砷(As)、硼(B)、镓(Ga)、铟(In)和磷(P)含量的测定,各元素的测定范围(以原子数计)为1.0×1010cm-3 ~ 4.1×1014cm-3。
起草单位
乐山市产品质量监督检验所、江苏中能硅业科技发展有限公司、新特能源股份有限公司、四川永祥股份有限公司、江苏鑫华半导体材料科技有限公司、新疆协鑫新能源材料科技有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、江苏秦烯新材料有限公司、青海芯测科技有限公司、亚洲硅业(青海)股份有限公司、有研半导体硅材料股份公司、陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司、洛阳中硅高科技有限公司、国标(北京)检验认证有限公司、宜昌南玻硅材料有限公司、义乌力迈新材料有限公司、
起草人
梁洪、 赵晓斌、 魏东亮、 王彬、 李素青、 李朋飞、 魏强、 楚东旭、 刘红、 何建军、 万涛、薛心禄、邱艳梅、杨素心、赵培芝、王永涛、周延江、刘文明、皮坤林、
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