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GB/T 14604-1993 电子工业用气体 氧

GB/T 14604-1993 电子工业用气体 氧

Gases for electronic industry. Oxygen

GB/T 14604-1993

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标准GB/T 14604-1993标准状态

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  • 标准名称:电子工业用气体 氧
  • 标准号:GB/T 14604-1993
    中国标准分类号:G86
  • 发布日期:1993-08-26
    国际标准分类号:71.100.20
  • 实施日期:1994-07-01
    技术归口:全国半导体材料和设备标准化技术委员会
  • 代替标准:被GB/T 14604-2009代替
    主管部门:国家标准化管理委员会
  • 标准分类:化工技术化工产品工业气体

内容简介

本标准规定了电子工业用气体氧和散装液态氧的技术要求,检验方法,检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求。 电子工业用氧主要用于二氧化硅化学气相淀积,用作氧化源和生产高纯水的反应剂,用于等离子体蚀刻和剥离。也可用于光导纤维。 分子式:O2 相对分子质量:31.999(1989年国际相对原子质量表)

起草单位

化工部西南化工研究院

起草人

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