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GB/T 15615-1995 硅片抗弯强度测试方法

GB/T 15615-1995 硅片抗弯强度测试方法

Test method for measuring flexture strength of silicon slices

GB/T 15615-1995

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  • 标准名称：硅片抗弯强度测试方法
  • 标准号：GB/T 15615-1995
    中国标准分类号：H23
  • 发布日期：1995-07-12
    国际标准分类号：77.040.01
  • 实施日期：1996-02-01
    技术归口：全国半导体材料和设备标准化技术委员会
  • 代替标准：
    主管部门：国家标准化管理委员会
  • 标准分类：冶金金属材料试验金属材料试验综合

内容简介

本标准规定了硅单晶切割片、研磨片和抛光片（简称硅片）的抗弯强度测试方法。 本标准适用于晶向为和的直拉、悬浮区熔硅单晶片的常温下抗弯强度的测量。硅片厚度为250～900μm。

起草单位

中南工业大学

起草人

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