GB/T 15862-1995 离子注入机通用技术条件
GB/T 15862-1995
国家标准推荐性
收藏
报错
标准GB/T 15862-1995标准状态
- 发布于:1995-12-22
- 实施于:1996-08-01
- 废止
内容简介
国家标准《离子注入机通用技术条件》由339-1(工业和信息化部(电子))归口,主管部门为工业和信息化部(电子)。
本标准规定了离子注入机的术语、产品分类、技术要求、试验、检验规则和标志、包装、运输、贮存。 本标准适用于半导体工艺用电能离子注入机。其他离子注入机亦可参照使用。
起草单位
电子工业部第四十八研究所、
起草人
相近标准
GB/T 15862-2012 离子注入机通用规范
EJ/T 647-1994 金属用工业离子注入机
YS/T 1371-2020 离子注入机用钨材
20213364-T-469 滑索通用技术条件
20193437-Q-339 工业炸药通用技术条件
20230558-T-604 架桥机通用技术条件
* 特别声明:资源收集自网络或用户上传,版权归原作者所有,如侵犯您的权益,请联系我们处理。
- 标准质量:
- ① 欢迎分享本站未收录或质量优于本站的标准,期待。
② 标准出现数据错误、过期或其它问题请点击下方「在线纠错」通知我们,感谢!
③ 本站资源均来源于互联网,仅供网友学习交流,若侵犯了您的权益,请联系我们予以删除。
下载说明
「相关推荐」
- 1 GB/T 15861-1995 离子束蚀刻机通用技术条件
- 2 GB/T 9536-1995 电子设备用机电开关 第1部分:总规范
- 3 GB/T 15885-1995 电子设备用固定电阻器 第4部分:空白详细规范 功率
- 4 GB/T 15655-1995 超扭曲向列型液晶显示器件分规范
- 5 GB/T 3389.5-1995 压电陶瓷材料性能测试方法 圆片厚度伸缩振动模式
- 6 GB/T 9546-1995 电子设备用固定电阻器 第8部分:分规范 片式固定电
- 7 GB 10320-1995 激光设备和设施的电气安全
- 8 GB/T 15650-1995 半导体集成电路系列和品种 CMOS门阵列电路系列的品
- 9 GB/T 15656-1995 超扭曲向列型液晶显示器件空白详细规范
- 10 GB 5296.3-1995 消费品使用说明 化妆品通用标签
- 11 GB/T 15509-1995 半导体集成电路系列和品种 彩电遥控器用电路系列
- 12 GB/T 15450-1995 硅双栅场效应晶体管 空白详细规范