GB/T 16944-1997 电子工业用气体氮_标准下载

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GB/T 16944-1997 电子工业用气体氮

Gases for electronic industry--Nitrogen

GB/T 16944-1997

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标准GB/T 16944-1997标准状态

发布于：1997-08-13
实施于：1998-05-01
废止

标准详情

标准名称：电子工业用气体氮
标准号：GB/T 16944-1997
中国标准分类号：G86
发布日期：1997-08-13
国际标准分类号：71.100.20
实施日期：1998-05-01
技术归口：全国半导体材料和设备标准化技术委员会
代替标准：被GB/T 16944-2009代替
主管部门：国家标准化管理委员会
标准分类：化工技术化工产品工业气体

内容简介

本标准规定了电子工业用液态和气态氮的技术要求、检验方法以及包装、标志等，适用于从分离空气或氨还原法制得的氮，在超大规模集成电路制造中用作净化、覆盖、保护、加压，也用于化学气相淀积时的载气等。氮气化学性质不活泼，不可燃，是一种窒息性气体。分子式：N。相对分子质量：28.0134（按1991年国际相对原子质量）。

起草单位

化学工业部西南化工研究院

起草人

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