GB/T 17169-1997 硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法
GB/T 17169-1997
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标准GB/T 17169-1997标准状态
- 发布于:1997-12-22
- 实施于:1998-08-01
- 废止
内容简介
本标准规定了半导体硅抛光片和外延片表面常见缺陷的光反射无损检验方法。 本标准适用于半导体硅抛光片和外延片表面质量的无损检验。 本标准的检验结果与GB/T6624、GB/T14142的检验结果一致。
起草单位
南开大学、天津市半导体材料厂
起草人
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