GB/T 11164-1999 真空镀膜设备通用技术条件
GB/T 11164-1999
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标准GB/T 11164-1999标准状态
- 发布于:1999-04-08
- 实施于:1999-09-01
- 废止
内容简介
国家标准《真空镀膜设备通用技术条件》由TC18(全国真空技术标准化技术委员会)归口,主管部门为中国机械工业联合会。
本标准规定了真空镀膜设备技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。 本标准适用于压力在10~10Pa范围的蒸发类、溅射类、离子镀类真空镀膜设备(以下简称设备)。
起草单位
上海曙光机械制造厂、
起草人
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