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GB/T 12964-2003 硅单晶抛光片

GB/T 12964-2003 硅单晶抛光片

Monocrystalline silicon polished wafers

GB/T 12964-2003

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标准GB/T 12964-2003标准状态

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  • 标准名称：硅单晶抛光片
  • 标准号：GB/T 12964-2003
    中国标准分类号：H82
  • 发布日期：2003-06-16
    国际标准分类号：29.045
  • 实施日期：2004-01-01
    技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 代替标准：代替GB/T 12964-1996被GB/T 12964-2018代替
    主管部门：国家标准化管理委员会
  • 标准分类：电气工程半导体材料

内容简介

国家标准《硅单晶抛光片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了硅单晶抛光片(简称硅抛光片)的必要的相关性术语、产品分类、技术要求、试验方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。 本标准适用于直拉硅单晶研磨片经腐蚀减薄后进行单面抛光制备的硅抛光片。产品主要用于制作集成电路等半导体器件或做为硅外延沉积的衬底。

起草单位

北京有色金属研究总院、

起草人

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