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GB/T 24469-2009 电子工业用气体 5N氯化氢

GB/T 24469-2009 电子工业用气体 5N氯化氢

Gas for electronic industry - 5N hydrogen chloride

GB/T 24469-2009

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标准GB/T 24469-2009标准状态

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  • 标准名称：电子工业用气体 5N氯化氢
  • 标准号：GB/T 24469-2009
    中国标准分类号：G86
  • 发布日期：2009-10-15
    国际标准分类号：71.100.20
  • 实施日期：2009-12-01
    技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 代替标准：被GB/T 14602-2014代替
    主管部门：国家标准化管理委员会
  • 标准分类：化工技术化工产品工业气体

内容简介

国家标准《电子工业用气体 5N氯化氢》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了电子工业用气体5N氯化氢的技术要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、储存、充装、分装和安全要求。本标准适用于以工业氯化氢为原料经净化制得的瓶装液化氯化氢。氯化氢主要用于微电子工业半导体器件生产中单晶硅片气相抛光、外延和基座腐蚀工艺。也可用于硬质合金和玻璃表面处理、医药中间体和精细化学品制造、科学研究等领域。分子式:HCl相对分子质量:36.46l(按2005年国际相对原子质量)

起草单位

北京华宇同方化工科技开发有限公司、信息产业部标准化四所、光明化工研究设计院、

起草人

张吉瑞、 孙福楠、 刘筠、

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