GB/T 9506.5-1988 掺氮吸气剂释氮吸气动态曲线测试方法_标准下载

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GB/T 9506.5-1988 掺氮吸气剂释氮吸气动态曲线测试方法

Test method for nitrogen-released and gas-absorbed dynamic curve of nitrogen-doped getter

GB/T 9506.5-1988

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标准GB/T 9506.5-1988标准状态

发布于：1988-06-25
实施于：1988-12-01
废止

标准详情

标准名称：掺氮吸气剂释氮吸气动态曲线测试方法
标准号：GB/T 9506.5-1988
中国标准分类号：L32
发布日期：1988-06-25
国际标准分类号：31-030
实施日期：1988-12-01
技术归口：
代替标准：被GB/T 25497-2010代替
主管部门：国家标准化管理委员会
标准分类：电子学电子技术专用材料

内容简介

本标准规定了掺氮吸气剂释氮吸气动态曲线的测试方法，适用于掺氮吸气剂蒸散工艺过程中的释氮吸气动态曲线的测试.测试方法应符合GB9506.1《吸气剂性能测试方法通则》中的有关规定.
国家标准《掺氮吸气剂释氮吸气动态曲线测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

起草单位

上海电子管二厂、

起草人

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