当前位置：标准网 国家标准

GB/T 41652-2022 刻蚀机用硅电极及硅环

GB/T 41652-2022 刻蚀机用硅电极及硅环

Silicon electrode and silicon ring for plasma etching machine

GB/T 41652-2022

国家标准推荐性
收藏 报错

标准GB/T 41652-2022标准状态

  1. 发布于：
  2. 实施于：
  3. 废止

标准详情

  • 标准名称：刻蚀机用硅电极及硅环
  • 标准号：GB/T 41652-2022
    中国标准分类号：H82
  • 发布日期：2022-07-11
    国际标准分类号：29.045
  • 实施日期：2023-02-01
    技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 代替标准：
    主管部门：国家标准化管理委员会
  • 标准分类：电气工程半导体材料

内容简介

国家标准《刻蚀机用硅电极及硅环》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
本文件规定了刻蚀机用硅电极及硅环的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存和随行文件以及订货单内容。本文件适用于p拉硅单晶加工成的刻蚀机用直径200mm~450mm的硅电极及硅环。

起草单位

有研半导体硅材料股份公司、新美光（苏州）半导体科技有限公司、山东有研半导体材料有限公司、浙江海纳半导体有限公司、

起草人

库黎明、 孙燕、 夏秋良、 潘金平、 闫志瑞、张果虎、

相近标准

YS/T 1109-2016 有机硅用硅粉
20220211-T-606 有机硅消泡剂
GB 30530-2014 有机硅环体单位产品能源消耗限额
HG/T 5081-2016 纺织染整助剂 有机硅整理剂 硅含量的测定
HG/T 4909-2016 车灯用有机硅密封胶
JB/T 3078-2015 电气绝缘用漆 有机硅浸渍漆
JB/T 7622-1994 电力半导体器件工艺用有机硅漆
GB/T 32816-2016 硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范
HG/T 5911-2021 LED 照明器件用加成型有机硅密封胶
20232705-T-339 地面用晶体硅光伏电池总规范

* 特别声明：资源收集自网络或用户上传，版权归原作者所有，如侵犯您的权益，请联系我们处理。

标准网本地下载
  • 标准质量：

    • 下载说明

  • ① 欢迎分享本站未收录或质量优于本站的标准，期待。
    ② 标准出现数据错误、过期或其它问题请点击下方「在线纠错」通知我们，感谢！
    ③ 本站资源均来源于互联网，仅供网友学习交流，若侵犯了您的权益，请联系我们予以删除。
  • 在线纠错
    • 标准过期 下载问题 模糊有误 其它问题

    「相关推荐」