标准详情
- 标准名称:硅外延片
- 标准号:GB/T 14139-1993
- 中国标准分类号:H81
- 发布日期:1993-02-06
- 国际标准分类号:
- 实施日期:1993-10-01
- 技术归口:全国半导体材料和设备标准化技术委员会
- 代替标准:被GB/T 14139-2009被GB/T 14139-2009代替
- 主管部门:国家标准化管理委员会
- 标准分类:
本标准规定了硅外延片的产品分类、技术要求、试验方法和检验规则及标志、包装、运输、贮存。 本标准适用于在N型硅抛光片衬底上生长的N型外延层(N/N)和在P型硅抛光片衬底上生长的P型外延层(P/P)的同质硅外延片。产品用于制作半导体器件。
国家标准《硅外延片》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。
上海第二冶炼厂、
20062372-T-469 硅外延片
20162492-T-469 硅外延片
硅外延片
GB/T 14139-2009 硅外延片
GB/T 14139-2019 硅外延片
埋层硅外延片
埋层硅外延片
20220133-T-469 埋层硅外延片
碳化硅外延片
碳化硅外延片
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