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GB/T 14139-1993 硅外延片

GB/T 14139-1993 硅外延片

Silicon epitaxial wafers

GB/T 14139-1993

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标准GB/T 14139-1993标准状态

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  • 标准名称：硅外延片
  • 标准号：GB/T 14139-1993
    中国标准分类号：H81
  • 发布日期：1993-02-06
    国际标准分类号：
  • 实施日期：1993-10-01
    技术归口：全国半导体材料和设备标准化技术委员会
  • 代替标准：被GB/T 14139-2009被GB/T 14139-2009代替
    主管部门：国家标准化管理委员会
  • 标准分类：

内容简介

本标准规定了硅外延片的产品分类、技术要求、试验方法和检验规则及标志、包装、运输、贮存。 本标准适用于在N型硅抛光片衬底上生长的N型外延层（N/N）和在P型硅抛光片衬底上生长的P型外延层（P/P）的同质硅外延片。产品用于制作半导体器件。
国家标准《硅外延片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。

起草单位

上海第二冶炼厂、

起草人

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