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GB/T 14600-1993 电子工业用气体 氧化亚氮

GB/T 14600-1993 电子工业用气体 氧化亚氮

Gases for electronic industry. Nitrous oxide

GB/T 14600-1993

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标准GB/T 14600-1993标准状态

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  • 标准名称:电子工业用气体 氧化亚氮
  • 标准号:GB/T 14600-1993
    中国标准分类号:G86
  • 发布日期:1993-08-26
    国际标准分类号:71.100.20
  • 实施日期:1994-07-01
    技术归口:全国半导体材料和设备标准化技术委员会
  • 代替标准:被GB/T 14600-2009代替
    主管部门:国家标准化管理委员会
  • 标准分类:化工技术化工产品工业气体

内容简介

本标准规定了电子工业用气体--瓶装氧化亚氮的技术要求、试验方法、验收规则及包装、标志、贮存与运输要求。 本标准适用于硝酸铵热分解工艺制取的氧化亚氮。该产品主要用于电子工业中二氧化硅的化学气相淀积、等离子工艺。 分子式:N2O 相对分子质量:44.01(按1989年国际相对原子质量)

起草单位

化工部西南化工研究院

起草人

段淑芳

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