GB/T 15909-2009 电子工业用气体硅烷(SiH4)_标准下载

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GB/T 15909-2009 电子工业用气体硅烷(SiH4)

Gas for electronic industry - Silane

GB/T 15909-2009

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标准GB/T 15909-2009标准状态

发布于：2009-10-30
实施于：2010-05-01
废止

标准详情

标准名称：电子工业用气体硅烷(SiH4)
标准号：GB/T 15909-2009
中国标准分类号：G86
发布日期：2009-10-30
国际标准分类号：71.100.20
实施日期：2010-05-01
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
代替标准：代替GB/T 15909-1995被GB/T 15909-2017代替
主管部门：国家标准化管理委员会
标准分类：化工技术化工产品工业气体

内容简介

国家标准《电子工业用气体硅烷(SiH4)》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
u3000u3000本标准规定了硅烷气体的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。。 u3000u3000本标准适用于电子工业中多晶硅和单晶硅外延淀积、二氧化硅的低温化学汽相淀积、非晶硅薄膜淀积等。

起草单位

浙江大学材化学院半导体材料研究所、西南化工研究设计院、

起草人

余京松、周鹏云、

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