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GB/T 12963-1996 硅多晶

GB/T 12963-1996 硅多晶

Polycrystalline silicon

GB/T 12963-1996

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标准GB/T 12963-1996标准状态

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  • 标准名称：硅多晶
  • 标准号：GB/T 12963-1996
    中国标准分类号：H82
  • 发布日期：1996-11-04
    国际标准分类号：29.045
  • 实施日期：1997-04-01
    技术归口：全国半导体材料和设备标准化技术委员会
  • 代替标准：代替GB 12963-1991被GB/T 12963-2009代替
    主管部门：国家标准化管理委员会
  • 标准分类：电气工程半导体材料

内容简介

本标准规定了硅多晶的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存。 本标准适用于以三氯氢硅四氯化硅用氢还原法制得的半导体级硅多晶。产品主要用于制备硅单晶。

起草单位

峨眉半导体材料厂

起草人

王鸿高、尹建华、刘文魁、吴福立

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