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GB/T 1554-1995 硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法

GB/T 1554-1995 硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法

Test method for crystallographic perfection of silicon by preferential etch techniques

GB/T 1554-1995

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标准GB/T 1554-1995标准状态

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  • 标准名称：硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法
  • 标准号：GB/T 1554-1995
    中国标准分类号：H26
  • 发布日期：1995-04-18
    国际标准分类号：77.040.30
  • 实施日期：1995-12-01
    技术归口：全国半导体材料和设备标准化技术委员会
  • 代替标准：代替GB/T 1554-1979;GB/T 4057-1983被GB/T 1554-2009代替
    主管部门：国家标准化管理委员会
  • 标准分类：冶金

内容简介

本标准规定了用择优腐蚀技术检验硅晶体完整性的方法。 本标准适用于晶向为或、电阻率为10～10Ω·cm、位错密度在0～10cm之间的硅单晶锭或硅片中原生缺陷的检验。

起草单位

峨嵋半导体材料厂

起草人

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