GB/T 1555-2023 半导体单晶晶向测定方法
GB/T 1555-2023
国家标准推荐性标准GB/T 1555-2023标准状态
- 发布于:2023-08-06
- 实施于:2024-03-01
- 废止
内容简介
国家标准《半导体单晶晶向测定方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
本文件描述了X射线衍射定向和光图定向测定半导体单晶晶向的方法。本文件适用于半导体单晶晶向的测定。X射线衍射定向法适用于测定硅、锗、砷化镓、碳化硅、氧化镓、氮化傢、锑化铟和磷化钢等大致平行于低指数原子面的半导体单晶材料的表面取向:光图定向法适用于测定硅、锗等大致平行于低指数原子面的半导体单晶材料的表面取向。
起草单位
中国电子科技集团公司第四十六研究所、浙江金瑞泓科技股份有限公司、浙江海纳半导体股份有限公司、云南驰宏国际锗业有限公司、浙江旭盛电子有限公司、丹东新东方晶体仪器有限公司、新美光(苏州)半导体科技有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、有研国晶辉新材料有限公司、哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司、北京通美晶体技术股份有限公司、中国电子科技集团公司第十三研究所、国标(北京)检验认证有限公司、
起草人
许蓉、 刘立娜、 马春喜、 张海英、 麻皓月、 潘金平、 任殿胜、 王元立、 赵松彬、 王书明、 赵丽丽、 夏秋良、 李素青、庞越、林泉、尚鹏、廖吉伟、崔丁方、陈跃骅、孙聂枫、李晓岚、史艳磊、
相近标准
GB/T 1555-2009 半导体单晶晶向测定方法
GB/T 39137-2020 难熔金属单晶晶向测定方法
GB/T 34210-2017 蓝宝石单晶晶向测定方法
SJ/T 11500-2015 碳化硅单晶晶向的测试方法
GB/T 42676-2023 半导体单晶晶体质量的测试 X射线衍射法
GB/T 41668-2022 化学品 防腐处理的木材向环境释放速率的测定方法
GB/T 31092-2022 蓝宝石单晶晶棒
SJ/T 11501-2015 碳化硅单晶晶型的测试方法
20194111-T-339 声表面波器件用单晶晶片 规范与测量方法
GB/T 1974-2003 切向键及其键槽
* 特别声明:资源收集自网络或用户上传,版权归原作者所有,如侵犯您的权益,请联系我们处理。
- 标准质量:
- ① 欢迎分享本站未收录或质量优于本站的标准,期待。
② 标准出现数据错误、过期或其它问题请点击下方「在线纠错」通知我们,感谢!
③ 本站资源均来源于互联网,仅供网友学习交流,若侵犯了您的权益,请联系我们予以删除。
下载说明
「相关推荐」
- 1 GB/T 3114-2023 铜及铜合金扁线
- 2 GB/T 8152.17-2023 铅精矿化学分析方法 第17部分:铝、镁、铁、铜、
- 3 GB/T 6150.18-2023 钨精矿化学分析方法 第18部分:钡含量的测定 电
- 4 GB/T 10561-2023 钢中非金属夹杂物含量的测定 标准评级图显微检验
- 5 GB/T 8358-2023 钢丝绳 破断拉力测定方法
- 6 GB/T 7216-2023 灰铸铁金相检验
- 7 GB/T 42516-2023 高温形状记忆合金化学分析方法 铂含量的测定 硫脲
- 8 GB/T 42472-2023 临界电流测量 银包套Bi-2223超导线室温双弯曲后的保
- 9 GB/T 18034-2023 快速测温热电偶用铂铑细偶丝规范
- 10 GB/T 22640-2023 铝合金应力腐蚀敏感性评价试验方法
- 11 GB/T 7998-2023 铝合金晶间腐蚀敏感性评价方法
- 12 GB/T 38470-2023 再生铜合金原料