GB/T 42674-2023 光学功能薄膜微结构厚度测试方法_标准下载

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GB/T 42674-2023 光学功能薄膜微结构厚度测试方法

Optical functional films—Measurement method for microstructure thickness

GB/T 42674-2023

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标准GB/T 42674-2023标准状态

发布于：2023-08-06
实施于：2024-03-01
废止

标准详情

标准名称：光学功能薄膜微结构厚度测试方法
标准号：GB/T 42674-2023
中国标准分类号：G15
发布日期：2023-08-06
国际标准分类号：71.080.99
实施日期：2024-03-01
技术归口：全国光学功能薄膜材料标准化技术委员会
代替标准：
主管部门：中国石油和化学工业联合会
标准分类：化工技术有机化学其他有机化学品

内容简介

国家标准《光学功能薄膜微结构厚度测试方法》由TC431（全国光学功能薄膜材料标准化技术委员会）归口，主管部门为中国石油和化学工业联合会。
本文件描述了通过扫描电子显微镜（SEM）检测光学功能薄膜（以下简称薄膜）横截面微结构厚度（以下简称横截面厚度）的方法。本文件适用于厚度不小于50nm的光学功能薄膜的单层或多层结构的厚度测试。

起草单位

中国乐凯集团有限公司、衡山县佳诚新材料有限公司、深圳市纵横标准技术有限公司、东莞市光志光电有限公司、合肥乐凯科技产业有限公司、浙江耀阳新材料科技有限公司、凯鑫森（上海）功能性薄膜产业股份有限公司、

起草人

夏江南、高建辉、田坤、韩明星、刘玉磊、刘文亮、赵建明、曹建、姜宁、赵朔、程媛、李宗、姚一凡、李文沾、周鹏、罗惠滨、

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