GB/T 8757-2006 砷化镓中载流子浓度等离子共振测量方法
GB/T 8757-2006
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标准GB/T 8757-2006标准状态
- 发布于:2006-07-18
- 实施于:2006-11-01
- 废止
内容简介
国家标准《砷化镓中载流子浓度等离子共振测量方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)、全国有色金属标准化技术委员会联合归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准适用于掺杂化镓单晶中载流子浓度的测量。测量范围: n-GaAs 1.0*10cm~1.0*10cm p-GaAs 2.0*10cm~1.0*10cm
起草单位
北京有色金属研究总院、
起草人
王彤涵、
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