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GB/T 17473.3-2008 微电子技术用贵金属浆料测试方法 方阻测定

GB/T 17473.3-2008 微电子技术用贵金属浆料测试方法 方阻测定

Test methods of precious metals pastes used for microelectronics Determination of sheet resistance

GB/T 17473.3-2008

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标准GB/T 17473.3-2008标准状态

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标准详情

  • 标准名称:微电子技术用贵金属浆料测试方法 方阻测定
  • 标准号:GB/T 17473.3-2008
    中国标准分类号:H68
  • 发布日期:2008-03-31
    国际标准分类号:77.120.99
  • 实施日期:2008-09-01
    技术归口:全国有色金属标准化技术委员会
  • 代替标准:代替GB/T 17473.3-1998
    主管部门:中国有色金属工业协会
  • 标准分类:冶金有色金属其他有色金属及其合金

内容简介

国家标准《微电子技术用贵金属浆料测试方法 方阻测定》由TC243(全国有色金属标准化技术委员会)归口,TC243SC5(全国有色金属标准化技术委员会贵金属分会)执行,主管部门为中国有色金属工业协会。
本部分规定了微电子技术用贵金属浆料方阻的测试方法。本部分适用于微电子技术用贵金属浆料方阻的测定。

起草单位

贵研铂业股份有限公司、

起草人

金勿毁、 刘继松、 李文琳、

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