GB/T 34213-2017 蓝宝石衬底用高纯氧化铝
GB/T 34213-2017
国家标准推荐性标准GB/T 34213-2017标准状态
- 发布于:2017-09-07
- 实施于:2018-06-01
- 废止
内容简介
国家标准《蓝宝石衬底用高纯氧化铝》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了蓝宝石衬底用高纯氧化铝的要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同)内容等。本标准适用于蓝宝石衬底用高纯氧化铝(以下简称高纯氧化铝),其他用途的蓝宝石单晶用高纯氧化铝可参照本标准执行。高纯氧化铝的分子式为Al2O3,相对分子质量为101.96,晶型为α。
起草单位
四川鑫通新材料有限责任公司、四川鑫炬新兴新光源材料有限公司、江苏协鑫软控设备科技发展有限公司、东莞市技顶电子科技有限公司、
起草人
钱幼平、 熊洲、 黄修康、 侯龙超、 唐大林、薛抗美、张强、
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