GB/T 43104-2023 碳基薄膜 分类及命名
GB/T 43104-2023
国家标准推荐性标准GB/T 43104-2023标准状态
- 发布于:2023-09-07
- 实施于:2024-04-01
- 废止
内容简介
国家标准《碳基薄膜 分类及命名》由TC57(全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会)归口,TC57SC10(全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会气相沉积分会)执行,主管部门为中国机械工业联合会。
本文件规定了碳基薄膜的分类、命名及简称。本文件所述的碳基薄膜是以碳为主要成分,并由物理气相沉积(PVD)或化学气相沉积(CVD)制备所得的薄膜。碳基薄膜包括非晶碳基薄膜〔又称为类金刚石薄膜(DLC)],CVD金刚石薄膜、石墨薄膜和类聚合物碳基薄膜。本文件适用于工业规模生产的碳基薄膜。本文件不适用于尚未实现工业规模生产的其余种类碳基薄膜。本文件只涉及碳基薄膜材料,不涉及由主体功能层和上/下附加层组成的复合涂层。薄膜中各层组分和/或性能随厚度变化的薄膜称为梯度薄膜。本文件涉及的碳基薄膜均指非梯度薄膜。碳基薄膜可能包含如氢、金属或其他元素。其中金属成分还包含金属碳化物。本文件涵盖的掺杂碳基薄膜只包括以碳元素为主要成分的薄膜体系。对于碳以碳化物形式存在的含碳基薄膜,也不适用于本文件中的金属掺杂非晶碳基薄膜(a-C:Me,a-C:H:Me)体系。本文件不适用于富勒烯、碳纳米管、石墨烯、石墨炔等碳材料。
起草单位
中国科学院宁波材料技术与工程研究所、宁波新材料测试评价中心有限公司、广东省科学院新材料研究所、东莞市华升真空镀膜科技有限公司、武汉材料保护研究所有限公司、中国科学院兰州化学物理研究所、中国矿业大学、
起草人
汪爱英、 段海涛、 谢开锋、 王鹏、 石倩、 李晓伟、 郭鹏、柯培玲、柴利强、林松盛、林海天、
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