GB/T 43315-2023 硅片流动图形缺陷的检测腐蚀法_标准下载

当前位置：标准网国家标准

GB/T 43315-2023 硅片流动图形缺陷的检测腐蚀法

Test method for flow pattern defects in silicon wafer—Etching technique

GB/T 43315-2023

国家标准推荐性

收藏报错

标准GB/T 43315-2023标准状态

发布于：2023-11-27
实施于：2024-06-01
废止

标准详情

标准名称：硅片流动图形缺陷的检测腐蚀法
标准号：GB/T 43315-2023
中国标准分类号：H21
发布日期：2023-11-27
国际标准分类号：77.040
实施日期：2024-06-01
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
代替标准：
主管部门：国家标准化管理委员会
标准分类：冶金金属材料试验

内容简介

国家标准《硅片流动图形缺陷的检测腐蚀法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
本文件规定了化学腐蚀后用金相显微镜检测硅片流动图形缺陷的方法。本文件适用于电阻率大于1Ω·cm的硅片流动图形缺陷的检测。

起草单位

中环领先（徐州）半导体材料有限公司、中环领先半导体材料有限公司、厦门万明电子有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司、浙江旭盛电子有限公司、山东有研半导体材料有限公司、浙江海纳半导体股份有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、麦斯克电子材料股份有限公司、

起草人

朱志高、陈俊宏、李素青、朱晓彤、潘金平、张海英、陈跃骅、黄景明、陈凤林、高海棠、由佰玲、吕莹、胡晓亮、方丽霞、

相近标准

SJ/T 11632-2016 太阳能电池用硅片微裂纹缺陷的测试方法
20232276-T-605 结构钢低倍组织缺陷评定酸浸法和超声检测法
SJ/T 11631-2016 太阳能电池用硅片外观缺陷测试方法
20231107-T-469 硅片氧沉淀特性的测试间隙氧含量减少法
20230557-T-604 起重机图形符号第2部分：流动式起重机
NY/T 1121.25-2012 土壤检测第25部分：土壤有效磷的测定连续流动分析仪法
DL/T 285-2012 矿物绝缘油腐蚀性硫检测法裹绝缘纸铜扁线法
20232230-T-605 金属和合金的腐蚀用目测法和硬度法对电厂部件铜合金和灰铸铁的选择性腐蚀评价
DL/T 1460-2015 矿物绝缘油中腐蚀性硫的定量测试铜粉腐蚀法
GB/T 43493.2-2023 半导体器件功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据第2部分：缺陷的光学检测方法

* 特别声明：资源收集自网络或用户上传，版权归原作者所有，如侵犯您的权益，请联系我们处理。

标准网本地下载