GB/T 32281-2015 太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定 二次离子质谱法
GB/T 32281-2015
国家标准推荐性标准GB/T 32281-2015标准状态
- 发布于:2015-12-10
- 实施于:2017-01-01
- 废止
内容简介
国家标准《太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定 二次离子质谱法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷元素体含量的二次离子质谱(SIMS)检测方法。 本标准适用于检测各元素体含量不随深度变化、且不考虑补偿的太阳能级单晶或多晶硅片或硅料中氧、碳、硼和磷元素的体含量。各元素体含量的检测上限均为0.2%(即<1*10^20 atoms/cm^3),检测下限分别为氧含量≥5*10^16 atoms/cm^3、碳含量≥1*10^16 atoms/cm^3、硼含量1*10^14 atoms/cm^3和 磷含量2*10^14 atoms/cm^3 四种元素体含量的测定可使用配有一次离子源的SIMS仪器一次完成。
起草单位
江苏协鑫硅材料科技发展有限公司、中铝宁夏能源集团有限公司、洛阳鸿泰半导体有限公司、北京合能阳光新能源技术有限公司、宁夏银星多晶硅有限责任公司、新特能源股份有限公司、
起草人
薛抗美、 夏根平、 范占军、 蒋建国、 王泽林、 宋高杰、 肖宗杰、盛之林、林清香、徐自亮、刘国霞、
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