GB/T 30654-2014 Ⅲ族氮化物外延片晶格常数测试方法
GB/T 30654-2014
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标准GB/T 30654-2014标准状态
- 发布于:2014-12-31
- 实施于:2015-09-01
- 废止
内容简介
国家标准《Ⅲ族氮化物外延片晶格常数测试方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了利用高分辨X射线衍射测试族氮化物外延片晶格常数的方法。本标准适用于在氧化物衬底(A120、ZnO等)或半导体衬底(GaN、Si、GaAs、SiC等)上外延生长的氮化物(Ga,In,A1)N单层或多层异质外延片晶格常数的测量。其他异质外延片晶格常数的测量也可参考本标准。
起草单位
中国科学院半导体研究所、
起草人
孙宝娟、 赵丽霞、 李晋闽、 王军喜、曾一平、
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