GB/T 33763-2017 蓝宝石单晶位错密度测量方法
GB/T 33763-2017
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标准GB/T 33763-2017标准状态
- 发布于:2017-05-31
- 实施于:2017-12-01
- 废止
内容简介
国家标准《蓝宝石单晶位错密度测量方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了蓝宝石单晶位错密度的测量方法。本标准适用于抛光加工后位错密度为0个/cm2~100000个/cm2的蓝宝石单晶位错密度的测量,检测面为{0001)、{1120)、{1012)、{1010}面。
起草单位
江苏协鑫软控设备科技发展有限公司、深圳市中安测标准技术有限公司、中国科学院上海光学精密机械研究所、
起草人
薛抗美、 黄修康、 田野、 张永波、 杭寅、尹继刚、张毅、
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