GB/T 30869-2014 太阳能电池用硅片厚度及总厚度变化测试方法
GB/T 30869-2014
国家标准推荐性标准GB/T 30869-2014标准状态
- 发布于:2014-07-24
- 实施于:2015-02-01
- 废止
内容简介
国家标准《太阳能电池用硅片厚度及总厚度变化测试方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了太阳能电池用硅片(以下简称硅片)厚度及总厚度变化的分立式和扫描式测量方法。本标准适用于符合GB/T 26071、GB/T 29055规定尺寸的硅片的厚度及总厚度变化的测量,分立式测量方法适用于接触式及非接触式测量,扫描式测量方法只适用于非接触式测量。在测量仪器准许的情况下,本标准也可用于其他规格硅片的厚度及总厚度变化的测量。
起草单位
东方电气集团峨嵋半导体材料有限公司、乐山新天源太阳能科技有限公司、有研半导体材料股份有限公司、青洋电子材料有限公司、
起草人
何紫军、 冯地直、 陈琳、 荆旭华、 程宇、黎阳、刘卓、
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