GB/T 43748-2024 微束分析透射电子显微术集成电路芯片中功能薄膜层厚度的测定方法_标准下载

GB/T 43748-2024 微束分析透射电子显微术集成电路芯片中功能薄膜层厚度的测定方法

Microbeam analysis—Transmission electron microscopy—Method for measuring the thickness of functional thin films in integrated circuit chips

GB/T 43748-2024

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标准GB/T 43748-2024标准状态

发布于：2024-03-15
实施于：2024-10-01
废止

标准详情

标准名称：微束分析透射电子显微术集成电路芯片中功能薄膜层厚度的测定方法
标准号：GB/T 43748-2024
中国标准分类号：N33
发布日期：2024-03-15
国际标准分类号：71.040.40
实施日期：2024-10-01
技术归口：全国微束分析标准化技术委员会
代替标准：
主管部门：国家标准化管理委员会
标准分类：化工技术分析化学化学分析

内容简介

国家标准《微束分析透射电子显微术集成电路芯片中功能薄膜层厚度的测定方法》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本文件规定了用透射电子显微镜/扫描透射电子显微镜(TEM/STEM)测定集成电路芯片中功能薄膜层厚度的方法。本文件适用于测定几个纳米以上厚度的集成电路芯片中功能薄膜层。

起草单位

广东省科学院工业分析检测中心、胜科纳米（苏州）股份有限公司、南方科技大学、

起草人

伍超群、于洪宇、周鹏、邱杨、程鑫、乔明胜、陈文龙、黄晋华、汪青、

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