GB/T 34971-2017 半导体制造用气体处理指南
GB/T 34971-2017
国家标准推荐性标准GB/T 34971-2017标准状态
- 发布于:2017-11-01
- 实施于:2018-02-01
- 废止
内容简介
国家标准《半导体制造用气体处理指南》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了半导体制造用气体排放系统的原理及技术。本标准适用于半导体制造用气体的处理。
起草单位
中昊光明化工研究设计院有限公司、高麦仪器公司、东莞市联臣电子科技有限公司、上海市计量测试技术研究院、西南化工研究设计院有限公司、广东华特气体股份有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、
起草人
孙福楠、 牛艳东、 王鸿、 方华、 廖恒易、杜汉盛、陈鹰、周鹏云、
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