GB/T 34894-2017 微机电系统（MEMS）技术基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法_标准下载

GB/T 34894-2017 微机电系统（MEMS）技术基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法

Micro-electromechanical system technology—Measuring method for strain gradient measurements of MEMS microstructures using an optical interferometer

GB/T 34894-2017

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标准GB/T 34894-2017标准状态

发布于：2017-11-01
实施于：2018-05-01
废止

标准详情

标准名称：微机电系统（MEMS）技术基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法
标准号：GB/T 34894-2017
中国标准分类号：L55
发布日期：2017-11-01
国际标准分类号：31.200
实施日期：2018-05-01
技术归口：全国微机电技术标准化技术委员会
代替标准：
主管部门：国家标准化管理委员会
标准分类：电子学集成电路、微电子学

内容简介

国家标准《微机电系统（MEMS）技术基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了基于光学干涉显微镜获取的微悬臂梁结构表面形貌进行应变梯度测量的方法。本标准适用于表面反射率不低于4％且使用光学干涉显微镜能够获取表面形貌的微悬臂梁结构。

起草单位

中机生产力促进中心、国家仪器仪表元器件质量监督检验中心、南京理工大学、天津大学、中国电子科技集团公司第十三研究所、

起草人

胡晓东、郭彤、李海斌、崔波、程红兵、于振毅、朱悦、裘安萍、

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