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GB/T 25915.9-2018 洁净室及相关受控环境 第9部分:按粒子浓度划分表面洁净度等级

GB/T 25915.9-2018 洁净室及相关受控环境 第9部分:按粒子浓度划分表面洁净度等级

Cleanrooms and associated controlled environments—Part 9: Classification of surface cleanliness by particle concentration

GB/T 25915.9-2018

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标准GB/T 25915.9-2018标准状态

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标准详情

  • 标准名称:洁净室及相关受控环境 第9部分:按粒子浓度划分表面洁净度等级
  • 标准号:GB/T 25915.9-2018
    中国标准分类号:C70
  • 发布日期:2018-06-07
    国际标准分类号:13.040.35
  • 实施日期:2018-10-01
    技术归口:全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会
  • 代替标准:
    主管部门:国家标准化管理委员会
  • 标准分类:环保、保健和安全空气质量清洁室(无菌室)及相关受控环境

内容简介

国家标准《洁净室及相关受控环境 第9部分:按粒子浓度划分表面洁净度等级》由TC319(全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。
GB/T 25915的本部分阐明了在洁净室及相关受控环境中,按粒子浓度来划分固体表面洁净度等级。附录A~附录D中给出了关于表面特性的信息以及推荐的检测和测量方法。本部分适用于洁净室及相关受控环境中的所有固体表面,如墙壁、顶棚、地板、生产环境、工具、设备和产品。按粒子浓度划分的表面洁净度等级(SCP)限于粒径0.05μm~500μm的粒子。本部分对以下事项未予考虑:——特定工艺的洁净度及适合性要求;——表面的清洁步骤;——材料特性;——涉及相互结合力或通常与时间和工艺过程有关的事项;——分级和测试统计方法的选择和使用;——粒子的其他特性,如静电电荷、离子电荷、微生物等状况。

起草单位

中天道成(苏州)洁净技术有限公司、苏州安泰空气技术有限公司、苏州净化工程安装有限公司、中电投工程研究检测评定中心、深圳市亿天净化技术有限公司、中国工程物理研究院八所、深圳市吉隆洁净技术有限公司、苏州工业园区嘉合环境技术工程有限公司、中国电子工程设计院、中国电子学会洁净技术分会、北京世源希达工程技术公司、深圳新科特种装饰工程公司、

起草人

姜皓遐、 殷晓冬、 金真、 袁晓东、 张利群、 夏群艳、 石小雷、 邴绍同、 王大千、黄吉辉、蒋乃军、王尧、苏钢民、吴晓媛、

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