GB/T 37030-2018 电子级三甲基铟
GB/T 37030-2018
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标准GB/T 37030-2018标准状态
- 发布于:2018-12-28
- 实施于:2019-04-01
- 废止
内容简介
国家标准《电子级三甲基铟》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了三甲基铟的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、储存和安全。本标准适用于铟镁合金法、三氯化铟法、格式试剂法三种化学合成法制备并经精制纯化的三甲基铟。该产品主要用于生长化合物半导体薄膜材料等。分子式:C3H9In相对分子质量:159.92(按2013年国际相对原子质量计算)
起草单位
江苏南大光电材料股份有限公司、中国电子技术标准化研究院、
起草人
陈化冰、 孙明璐、 王香、曹可慰、
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